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    公司新聞

    高溫磁場加熱系統(tǒng)安裝成功

    近日,我公司為江蘇某科技企業(yè)成功安裝一套高溫磁場加熱系統(tǒng)。

    主要技術(shù)指標(biāo):

    ※  溫度范圍:室溫—350℃ (硅片上邊溫度)

    ※  控溫精度:±1℃

    ※  溫度分辨率:0.1℃

    ※  樣品尺寸:8英寸(需要有固定夾具,還有10mmx10mm,20mmx20mm樣品也需要考慮單獨固定)

    ※  樣品溫度:精圓上單獨放一個溫度計,測量精圓表面溫度(溫度計封裝在鍍金無氧銅塊內(nèi),銅塊與精圓接觸測溫,使用比

       較細的軟線方便移動與測量)

    ※  磁場強度:>1000oe(樣品測試處磁場)

    ※  持續(xù)工作時間:5小時

    ※  樣品臺尺寸:210mm (根據(jù)實際可更改,不小于8英寸),

    ※  樣品臺采用三維移動方式,移動行程:±110mm,移動精度:10um

    ※  樣品臺主要零部件材質(zhì)均為上等無磁合金制作;

    ※  在室溫到350度,升溫速率優(yōu)于10K/min,*高加熱溫度350℃;控溫精度:±1℃;

    ※  加熱時,加熱絲被封裝在石英管內(nèi),極大程度的減少由于加熱絲的揮發(fā)造成樣品表面附著物的污染;

    ※  匹配磁鐵電源:雙極性,穩(wěn)定度優(yōu)于±25ppm/h,平滑過零無斷點;

    ※  匹配電磁鐵:長時間運行穩(wěn)定度<±0.5Gs;

    ※  冷卻方式:自然冷卻。

    軟件1.1功能介紹:

    ※ 可以控制電流掃場,

    ※ 可以控制溫度變化,

    ※ 可以輸出電流測電壓得到電阻,

    ※ 可以輸出電壓測電流得到電阻,

    ※ 測試程序需要輸出數(shù)據(jù)及測試圖,

    ※ 采集記錄精圓處測量的數(shù)據(jù)

    顯微鏡功能介紹

    ※  采用積木式結(jié)構(gòu),平行光路光學(xué)系統(tǒng);

    ※  0.6-5.0X連續(xù)變倍,1:8.3大變倍比。高分辨率、高對比度成像。重復(fù)定位;精度高,重復(fù)精度可達1um;

    ※  標(biāo)配工作距離:86mm;

    ※  CCD接口可選:0.5X;

    ※  不同倍率輔助物鏡倍率可選:0.3X-2.5X。

    ※  采用842萬像素索尼新一代高動態(tài)范圍CMOS 圖像傳感器;

    ※  采用1/1.8英寸圖像傳感器;

    ※  HDMI*高4K 60幀圖像輸出;

    ※  支持拍照 ,JPG格式;

    ※  支持手動一鍵曝光

    ※  支持手動一鍵白平衡,紅、綠、藍可調(diào);

    ※  提供8條畫線功能,線條顏色、粗細,位置可調(diào);

    ※  支持U盤存儲;

    ※  支持鼠標(biāo)操作;

    ※  拍照不抖動圖像更清晰;

    ※  支持中/英/繁語言(默認英文);

    ※  支持關(guān)機設(shè)置參數(shù)保存;

    ※  采用CNC精銑技術(shù)加工鋁合金外殼;

    設(shè)備配置

    ※  定制高溫加熱樣品臺:1

    ※  手動探針:4

    ※  定制高溫控溫儀:1  JH401

    ※  定制電磁鐵:1  DZ-12

    ※  雙極性恒流電源:1   JCP-5/40SA

    ※  定制三維手動位移臺:1   PT80-50

    ※  樣品處溫度傳感器,及顯示器:1  PT100-BO

    ※  定制軟件:1套 1.1

    ※  內(nèi)置高斯計:1臺  GP5

    ※  臺式計算機: 1臺 

    ※  顯微鏡:1套


    京公網(wǎng)安備 11010602006210號

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