近日，我公司為江蘇某科技企業(yè)成功安裝一套高溫磁場加熱系統(tǒng)。
主要技術(shù)指標(biāo)：
※ 溫度范圍：室溫—350℃ （硅片上邊溫度）
※ 控溫精度：±1℃
※ 溫度分辨率：0.1℃
※ 樣品尺寸：8英寸（需要有固定夾具，還有10mmx10mm,20mmx20mm樣品也需要考慮單獨固定）
※ 樣品溫度：精圓上單獨放一個溫度計，測量精圓表面溫度（溫度計封裝在鍍金無氧銅塊內(nèi)，銅塊與精圓接觸測溫，使用比
較細的軟線方便移動與測量）
※ 磁場強度：＞1000oe（樣品測試處磁場）
※ 持續(xù)工作時間：5小時
※ 樣品臺尺寸：210mm （根據(jù)實際可更改，不小于8英寸），
※ 樣品臺采用三維移動方式，移動行程:±110mm,移動精度：10um
※ 樣品臺主要零部件材質(zhì)均為上等無磁合金制作；
※ 在室溫到350度，升溫速率優(yōu)于10K/min，*高加熱溫度350℃；控溫精度：±1℃；
※ 加熱時，加熱絲被封裝在石英管內(nèi)，極大程度的減少由于加熱絲的揮發(fā)造成樣品表面附著物的污染；
※ 匹配磁鐵電源：雙極性，穩(wěn)定度優(yōu)于±25ppm/h，平滑過零無斷點；
※ 匹配電磁鐵：長時間運行穩(wěn)定度<±0.5Gs；
※ 冷卻方式：自然冷卻。
軟件1.1功能介紹：
※ 可以控制電流掃場，
※ 可以控制溫度變化，
※ 可以輸出電流測電壓得到電阻，
※ 可以輸出電壓測電流得到電阻，
※ 測試程序需要輸出數(shù)據(jù)及測試圖，
※ 采集記錄精圓處測量的數(shù)據(jù)
顯微鏡功能介紹
※ 采用積木式結(jié)構(gòu)，平行光路光學(xué)系統(tǒng)；
※ 0.6-5.0X連續(xù)變倍，1:8.3大變倍比。高分辨率、高對比度成像。重復(fù)定位；精度高，重復(fù)精度可達1um；
※ 標(biāo)配工作距離：86mm；
※ CCD接口可選：0.5X；
※ 不同倍率輔助物鏡倍率可選：0.3X-2.5X。
※ 采用842萬像素索尼新一代高動態(tài)范圍CMOS 圖像傳感器；
※ 采用1/1.8英寸圖像傳感器；
※ HDMI*高4K 60幀圖像輸出；
※ 支持拍照 ,JPG格式；
※ 支持手動一鍵曝光
※ 支持手動一鍵白平衡，紅、綠、藍可調(diào)；
※ 提供8條畫線功能，線條顏色、粗細，位置可調(diào)；
※ 支持U盤存儲；
※ 支持鼠標(biāo)操作；
※ 拍照不抖動圖像更清晰；
※ 支持中/英/繁語言（默認英文）；
※ 支持關(guān)機設(shè)置參數(shù)保存；
※ 采用CNC精銑技術(shù)加工鋁合金外殼；
設(shè)備配置
※ 定制高溫加熱樣品臺：1
※ 手動探針：4
※ 定制高溫控溫儀：1 JH401
※ 定制電磁鐵：1 DZ-12
※ 雙極性恒流電源：1 JCP-5/40SA
※ 定制三維手動位移臺：1 PT80-50
※ 樣品處溫度傳感器，及顯示器：1 PT100-BO
※ 定制軟件：1套 1.1
※ 內(nèi)置高斯計：1臺 GP5
※ 臺式計算機： 1臺
※ 顯微鏡：1套
